CVD成膜装置、CVD成膜装置を用いたX線ロッキングカーブ測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-161785
公開番号（公開出願番号）：特開平10-317143
出願日： 1997年05月15日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：

【要約】【課題】従来のCVD成膜装置では成膜試料のX線ロッキングカーブ測定にあたり、成膜後に試料を取り出してX線回折装置にかけていたため、表面酸化による測定誤差を招いていた。また、校正実験と実際の成膜で相違が生じがちであり、たびたび校正実験を行わねばならぬという不便さがあった。【解決手段】BeからなるX線用窓がその外壁の一部または全部を構成する反応炉、反応炉外に設置されたX線発生器、X線検出器、X線発生器とX線検出器がそれぞれ成膜用の試料面に対してなす角度を1対2の関係に保持しつつX線発生器とX線検出器を移動する回転移動機構、を有するCVD成膜装置を構成する。

請求項（抜粋）：

CVD成膜装置であって、BeからなるX線用窓がその外壁の一部または全部を構成する反応炉反応炉外に設置されX線用窓を通してX線を反応炉内に設置された試料に照射するためのX線発生器、反応炉外に設置されX線用窓を通して反応炉内に設置された試料に照射されたX線の回折光を受光するためのX線検出器、X線発生器とX線検出器がそれぞれ反応炉内に設置された試料の試料面に対してなす角度を1対2の関係に保持しつつ、X線発生器とX線検出器をそれぞれ回転移動する移動機構、を有することを特徴とするCVD成膜装置

IPC (3件)：

C23C 16/44 , C23C 16/52 , G01N 23/20

FI (3件)：

C23C 16/44 B , C23C 16/52 , G01N 23/20

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