特許

J-GLOBAL ID：200903077875680011

加速度センサ

発明者： 佐藤 顕 ,  岡本 幸一
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-261022
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101060
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】 出力感度のばらつきが少なく、加速度検出精度のよい、加速度センサを供する。【構成】 圧電セラミックスシート(a1〜a6)と電極層(b1〜b7)を交互に印刷積層し、最終層としてバイモルフ両端または片端にスペーサとして、セラミックス層a7を印刷積層し、一体焼結してなる圧電バイモルフ式加速度センサ。

請求項（抜粋）：

圧電セラミックシートと電極層とを交互に印刷積層し、同時焼結して得られる積層型セラミックスからなる圧電バイモルフ式加速度センサにおいて、バイモフルの両端または片端に印刷積層で形成され、同時焼結して得られるスペーサを具備したことを特徴とする加速度センサ。

IPC (3件)：

G01H 11/08 ,  G01P 15/09 ,  G03B 5/00