特許

J-GLOBAL ID：200903077882784698

レーザビーム走査装置

発明者： 林 健一
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-045467
公開番号（公開出願番号）：特開2002-244059
出願日： 2001年02月21日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】 部品点数の増加を抑制しつつ、レーザビームを分岐させて実質的な加工速度を高めることが可能なレーザビーム走査装置を提供する。【解決手段】 レーザ光源が、レーザビームを出射する。レーザ光源から出射したレーザビームが第1の可動ミラーに入射する。第1の可動ミラーは、入射するレーザビームの一部を反射させ、残りを透過させる。また、反射したレーザビームの進行方向をある範囲内で振ることができる。第1の可動ミラーを透過したレーザビームが、第2の可動ミラーに入射する。第2の可動ミラーは、入射するレーザビームを反射させ、反射したレーザビームの進行方向をある範囲内で振ることができる。

請求項（抜粋）：

レーザビームを出射するレーザ光源と、前記レーザ光源から出射したレーザビームが入射し、その一部を反射させ、残りを透過させ、反射させたレーザビームの進行方向をある範囲内で振ることができる第1の可動ミラーと、前記第1の可動ミラーを透過したレーザビームを反射させ、反射したレーザビームの進行方向をある範囲内で振ることができる第2の可動ミラーとを有するレーザビーム走査装置。

IPC (6件)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/10 104 ,  B23K 26/06 ,  B23K 26/08 ,  G03F 7/20 505 ,  H04N 1/113

FI (7件)：

G02B 26/10 C ,  G02B 26/10 D ,  G02B 26/10 104 Z ,  B23K 26/06 C ,  B23K 26/08 B ,  G03F 7/20 505 ,  H04N 1/04 104 Z

Fターム (19件)：

2H045AB13 ,  2H045BA13 ,  2H045BA26 ,  2H045BA34 ,  2H097AA03 ,  2H097CA06 ,  2H097CA17 ,  4E068AB00 ,  4E068CB09 ,  4E068CD04 ,  4E068CE03 ,  4E068DA11 ,  4E068DB13 ,  5C072AA03 ,  5C072BA01 ,  5C072BA20 ,  5C072HA02 ,  5C072HA09 ,  5C072HA11