有機金属化合物の粉末供給装置および気化供給装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-113444
公開番号（公開出願番号）：特開平5-311446
出願日： 1992年05月06日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】常に同じ条件で同じ特性値を持った薄膜を得ることが出来る、固体原料の有機金属化合物の粉末を安定して供給する粉末供給装置と、それを用いた気化供給装置を提供するものである。【構成】有機金属化合物の粉末15が、バイブレーター16の振動によって加熱した回転するプレート21上に、一定の供給量で供給され、気化する。残った粉末は、掻き落とし棒26によりプレート21上から取り除かれ、プレート21上は清浄に保たれる。気化した原料は、キャリアガスによりガスだまり用チャンバー27を経て反応装置33に運ばれるため、原料ガス濃度の脈動が抑えられ、安定した量の原料が反応装置に供給される。

請求項（抜粋）：