特許
J-GLOBAL ID：200903077887006944
ガス中の水分濃度測定方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-240867
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083806
出願日： 1997年09月05日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 水分測定時間の短縮と装置の小型化とを図り、被測定ガスの使用量も低減しながら高精度で極微量の水分量を測定する。【解決手段】 配管内周面に吸脱着する2分子層以降の水分量に基づいて被測定ガス中の水分濃度を算出する。
請求項（抜粋）：
配管内周面への水分の吸脱着特性を利用して被測定ガス中の水分濃度を測定する方法であって、前記配管内周面に吸着した2分子層以降の水分の吸脱着量に基づいて前記被測定ガス中の水分濃度を算出することを特徴とするガス中の水分濃度測定方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 27/62 V
, G01N 27/62 F
, G01N 30/00 E
