特許
J-GLOBAL ID：200903077888328163
精製能力計測手段付きガス精製装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
諸田 英二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-157585
公開番号（公開出願番号）：特開平5-000224
出願日： 1991年05月31日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【目的】ゲッタ材を内蔵するガス純化部を有するガス精製装置において、該純化部の精製能力をより精度よく、より簡便に計測できる手段を付設したガス精製装置を提供することを目的とする。【構成】本装置は、交互に稼動できる2系統のガス純化部を持つ。精製能力計測手段は、被検ガス純化部をラインから分離するバルブ等からなる手段、分離した該純化部を高真空にする排気手段、高真空にした該純化部の入口側に所定量の微量不純物ガスを導入するための導入用タンク、補助用タンク(例えば減圧用タンク、計量用タンク、減圧弁から構成)等からなる手段、及び入口側に前記不純物ガスを導入したとき、出口側の圧力変化を測定する真空計等により構成される。
請求項（抜粋）：
ゲッタ材を内蔵し、主配管を流れるラインガスが流入する入口と純化された前記ラインガスが流出する出口とを有するガス純化部を2系統具備すると共に、前記入口に補助配管系を介して連通する不純物ガス導入用タンクと、このタンクに不純物ガスを供給する不純物ガス導入用補助タンクと、前記出口に補助配管系を介して連通する真空計とを有するガス純化部の精製能力を計測する手段を付設したことを特徴とする精製能力計測手段付きガス精製装置。
IPC (5件)：
B01D 53/04
, B01D 53/14
, C01B 23/00
, H01L 21/203
, H01L 21/302
