特許
J-GLOBAL ID：200903077888883795
積層電気-機械エネルギー変換素子および振動波駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岸田 正行 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-167872
公開番号（公開出願番号）：特開2001-352768
出願日： 2000年06月05日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：
【要約】【課題】高い信頼性を保ちつつ小型化が図れ、また製造コストの削減化が図れる積層圧電素子を提供する。【解決手段】電気-機械エネルギー変換機能を有する材料の第1の層と、電極材料の第2の層とを交互に複数の層に重ね、前記複数の第2の層を構成する電極3を複数のグループに分け、各グループに対応する電極同士をそれぞれ外部導電膜4により導通させた第1素子部1aと、第1素子部1aの一方端側に配置される第2素子部1bとを有し、第2素子部1bは、電気-機械エネルギー変換機能を有する第3の層間に設けられ、前記複数の各外部導電膜とそれぞれ導通する複数の配線用導電膜と6、前記第3の層の外層に形成された複数のスルーホール5とを有し、複数の配線用導電膜6と複数のスルーホール5とをそれぞれ導通させた。
請求項（抜粋）：
電気-機械エネルギー変換機能を有する材料に、複数の電極領域を形成したものを複数層重ねた積層電気-機械エネルギー変換素子において、前記積層電気-機械エネルギー変換素子の複数層の各複数の電極領域は、非積層領域となる内面又は外面に形成された第1の接続用導電膜により接続し、さらに、前記積層電気-機械エネルギー変換素子の特定の層の積層領域となる表面には、前記スルーホールと前記第1の接続用導電膜とを接続する第2の接続用導電膜を設けたことを特徴とする積層電気-機械エネルギー変換素子。
Fターム (12件)：
5H680AA19
, 5H680BB01
, 5H680BB15
, 5H680DD01
, 5H680DD23
, 5H680DD26
, 5H680DD39
, 5H680DD53
, 5H680DD66
, 5H680DD73
, 5H680DD87
, 5H680DD95
