製造装置の保守管理方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-189444
公開番号（公開出願番号）：特開平7-084613
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】製造装置の正確な保守管理を行うことができる保守管理方法を提供すること。【構成】ステップ1aにて製造装置の装置状態を把握して管理データを作成し、ステップ1cにて予め設定した範囲を越えるデータが管理データ内に記録された場合には、ステップ1hにてホストコンピュータから稼働停止を指示して保守を行う。また、予め設定した保守時期に至る前にステップ1dにて管理データの傾向分析を行い偏りがある場合にはステップ1iにて保守期間を短縮したり、また保守時期に至った際にステップ1kにて管理データの傾向分析を行い偏りがない場合にはステップ1qにて次回までの保守期間を延長する。

請求項（抜粋）：

装置管理者が担当する製造装置の処理実績や装置状態をホストコンピュータにより管理し、該処理実績や装置状態に基づいて前記製造装置の保守を行う製造装置の保守管理方法であって、一定期間毎に前記製造装置の処理実績や装置状態に基づくデータを記録した管理データを作成して前記ホストコンピュータに記録しておき、予め設定した範囲を越えるデータが前記管理データ内に記録された場合には、前記ホストコンピュータから前記製造装置及び前記装置管理者に対してその稼働の停止を指示し、その後該製造装置の保守を行うことを特徴とする製造装置の保守管理方法。

IPC (3件)：

G05B 15/02 , G05B 23/02 301 , G06F 17/60

FI (2件)：

G05B 15/02 Z , G06F 15/21 R

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