特許

J-GLOBAL ID：200903077899736956

ゾルゲル法による薄膜の作製方法

発明者： 星野 寿美夫 ,  伊藤 真澄
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-148610
公開番号（公開出願番号）：特開平5-004839
出願日： 1991年06月20日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：

【要約】【目的】 本発明はゾルゲル法による薄膜の作製方法に関する。【構成】 本発明は、金属アルコキシドに、水アルコール、酸を加えにことにより得られた加水分解溶液を基板上に付着せしめて薄膜を作製する方法において、基板上に付着せしめる以前に該加水分解溶液を静置して熟成させることにより室温における粘度を0.1ポイズから10ポイズとすることを特徴とする。このようにすれば、従来よりも厚膜で、膜厚の制御性が良く、均一なコーティング膜が形成可能である。

請求項（抜粋）：

金属アルコキシドに、水、アルコール、酸を加えることにより得られる加水分解溶液を基板上に付着せしめて薄膜を作製する方法において、基板上に加水分解溶液を付着せしめる前に、該加水分解溶液を静置して熟成させることにより室温における粘度を0.1ポイズから10ポイズとすることを特徴とする薄膜の作製方法。

IPC (7件)：

C03C 17/25 ,  B01J 19/00 ,  C01B 33/12 ,  C01B 35/10 ,  C01F 7/02 ,  C01G 17/02 ,  C01G 23/053