ウェーハのダイシング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松隈秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-260058
公開番号（公開出願番号）：特開平7-115075
出願日： 1993年10月18日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：

【要約】【目的】ウェーハのダイシング装置において、切断直後の切屑を含む水によるウェーハ面の汚染を防止する。【構成】ウェーハ2をブレード24によりダイシングするダイシング装置において、ブレード24の回転方向の後方部に切断直後の切屑を含む水30をウェーハ2の面から分離する分離板35を設けて構成する。

請求項（抜粋）：

ウェーハをブレードによりダイシングするダイシング装置において、前記ブレードの回転方向の後方部に切断直後の切屑を含む水を前記ウェーハの面から分離する分離手段を有して成ることを特徴とするウェーハのダイシング装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

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