特許
J-GLOBAL ID：200903077910011632
気体成分検出素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-223989
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035726
出願日： 1993年07月21日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 加熱空気のように酸素濃度が減少した場合にも補正を必要とせず、またその形状を小形化することにより精度の高い、かつ安定性良好な気体成分検出素子を得るとともに、始動から動作が安定するまでの時間を短縮し、さらにその気体成分検出素子を簡単な工程と装置により製造できるようにする。【構成】 絶縁物又は半導体からなる基板1と、この基板1上に形成された第1の絶縁層3と、この絶縁層の上に形成されたヒータ層4と、このヒータ層の上に形成された第2の絶縁層5と、この第2の絶縁層5の上に形成された安定化ジルコニア層6と、この安定化ジルコニア層6の両端に電気的に接続した貴金属の電極7a、7bと、この電極7a、7bと安定化ジルコニア層6上に形成された第3の絶縁層9とを備えている。
請求項（抜粋）：
半導体からなる基板1と、この基板上1に形成された第1の絶縁層3と、この絶縁層3の上に形成されたヒータ層4と、このヒータ層4の上に形成された第2の絶縁層5と、この第2の絶縁層5の上に形成された安定化ジルコニア層6と、この安定化ジルコニア層6の両端に電気的に接続した貴金属の電極7a、7bと、この電極7a、7bと上記安定化ジルコニア層6上に形成された第3の絶縁層9とを備えた気体成分検出素子。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 27/46 311 J
, G01N 27/46 325 J
, G01N 27/46 325 Z
