特許

J-GLOBAL ID：200903077911278659

オージェ分光分析用試料台

発明者： 野本 裕香
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-344040
公開番号（公開出願番号）：特開2008-159294
出願日： 2006年12月21日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：

【課題】本発明は、AESによる断面加工試料の測定において、断面のエッチングによるクリーニング操作から断面の観察、測定操作までにかかる複雑なステージ操作工程や、さらにCMAを搭載したAESにおける複数試料観察の際の角度微調節といった工程の削減を可能とする試料台の提供を目的とする。【解決手段】試料台(1)に傾斜角度50°〜60°の傾斜面2面からなる傾斜部分(2)を設けることにより、エッチング後、試料ステージの反転操作を行なわずに観察、測定操作を可能とし、また、傾斜部分(2)に並列に試料(5)を固定できる構造により、観察断面の方向をそろえることを可能とすることで位置調整に要する操作を削減することが出来る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料を保持し該試料を測定位置に設置するオージェ分光分析用試料台において、該試料台(1)上面に該試料台(1)の中心を通過する直線を頂点とする傾斜面を2面設けることを特徴とするオージェ分光分析用試料台。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  G01N 23/227 ,  G01N 1/28

FI (3件)：

H01J37/20 A ,  G01N23/227 ,  G01N1/28 W

Fターム (20件)：

2G001AA03 ,  2G001BA09 ,  2G001CA03 ,  2G001KA01 ,  2G001LA02 ,  2G001MA05 ,  2G001QA02 ,  2G001RA04 ,  2G052AA11 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052DA33 ,  2G052EC14 ,  2G052EC18 ,  2G052GA33 ,  5C001AA01 ,  5C001AA05 ,  5C001CC05 ,  5C001CC07 ,  5C001DD01