特許

J-GLOBAL ID：200903077918049647

プローブによる通電測定方法及び装置

発明者： 佐々木 浩一
出願人/特許権者： 茨城日本電気株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-184965
公開番号（公開出願番号）：特開平11-030648
出願日： 1997年07月10日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】 光反射率の相違を利用して、プローブ接触子に対する被測定物の位置ズレ(所謂、プローブ・コンタクト・ミスによる疑似接触不良)を確認し、あるいは、事前に、被測定物に対する前記プローブ接触子の接触不良を検出して、通電検査時の疑似接触不良判定を未然に防止できるようにしたプローブの通電測定方法及び装置を提供する。【解決手段】 通電測定される被測定パッドと絶縁層とが互いに光反射率が相違する表面を具備している被測定物に対してプローブ接触子を接触させて通電測定する方法において、前記通電測定を行う際に、被測定物に対する前記プローブ接触子の接触状況を検出するため、プローブを通して被測定物からの反射光を光センサーで測定し、その結果を前記通電測定の結果と照合して、前記プローブ接触子の疑似接触不良を判定することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

通電測定される被測定パッドと絶縁層とが互いに光反射率が相違する表面を具備している被測定物に対してプローブ接触子を接触させて通電測定する方法において、前記通電測定を行う際に、被測定物に対する前記プローブ接触子の接触状況を検出するため、プローブを通して被測定物からの反射光を光センサーで測定し、その結果を前記通電測定の結果と照合して、前記プローブ接触子の疑似接触不良を判定することを特徴とするプローブによる通電測定方法。

IPC (3件)：

G01R 31/28 ,  G01R 1/06 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/28 K ,  G01R 1/06 E ,  H01L 21/66 B