特許
J-GLOBAL ID:200903077922943514
光学顕微鏡における凹凸強調観察法及び光学顕微鏡
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
菅 隆彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-034600
公開番号(公開出願番号):特開平7-244241
出願日: 1994年03月04日
公開日(公表日): 1995年09月19日
要約:
【要約】【目的】高価な高品質部品を使用しなくてもなだらかな表面凹凸でも簡易に強調観察をなし得る光学顕微鏡における凹凸強調観察法及び光学顕微鏡を提供する。【構成】鏡筒部1の下端に嵌込んだ対物レンズ2の上方又は下方のいずれかの位置に可動シャッター4を設けて、照射光αを一方向斜めから試料表面3aに当て正面に臨んだ対物レンズ2の上又は下において試料表面3aからの直接反射光βを遮り散乱光γのみを通して表面凹凸状況を強調観察することを特徴とする。
請求項(抜粋):
照射光を一方向斜めから試料表面に当て、正面に臨んだ対物レンズの上又は下において当該試料表面からの直接反射光を遮り、散乱光のみを通して表面凹凸状況を強調観察することを特徴とする光学顕微鏡における凸凹強調観察法。
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