試料表面のインピーダンス測定方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-339277
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142273
出願日： 1991年10月23日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：

【要約】【目的】この発明は、マイクロ波〜サブミリ波領域で高反射率特性を示す超低損失薄膜素材等の表面インピーダンスを高精度に測定する方法、及び測定装置を提供することにある。【構成】同じように作られた一対の凹球面反射鏡を対向させ共振器を形成し、その間隔を変化させるための移動機構と、被測定用平面鏡試料を保持し、該共振器の半分の共振器の一方の平面反射鏡となるように光軸上の中央に設置し、当該共振器の鏡面間隔を変化させるための移動機構と、平面鏡試料を光軸上から除去する移動機構と、上記共振器を励振するための信号供給手段と、反射信号波を検出、処理するための信号処理手段と、からなる。

請求項（抜粋）：

反射鏡の中央部に波長に比較し小さな周期構造により形成された円形の部分透過性の反射鏡面を持つ同じように作られた一対の凹球面反射鏡の一方を主反射鏡として用い、被測定用平面鏡試料と対向させ、反射型開放共鳴器を構成し、また、当該平面鏡面を対称面とする主反射鏡と対称な位置にもう一方の球面反射鏡を鏡面反射損失較正用として配置し、主反射鏡と被測定用平面鏡試料とで形成される反射型開放共鳴器のQ値の測定と、平面鏡試料を光軸上から除去し、一対の球面反射鏡で構成される開放共鳴器のQ値の測定とを行い、球面反射鏡の反射損失を求め両者の測定Q値の差から被測定用平面鏡試料の反射率の絶対値を求め、共振位置の測定から位相項を求めることで被測定用平面鏡試料の表面インピーダンスを得ることを特徴とするマイクロ波〜サブミリ波帯の表面インピーダンス測定方法。

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