シート導電材を処理するための空中プラズマ方式およびその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (12件)：岡部正夫 , 加藤伸晃 , 産形和央 , 臼井伸一 , 藤野育男 , 越智隆夫 , 本宮照久 , 高梨憲通 , 朝日伸光 , 高橋誠一郎 , 吉澤弘司 , 松井孝夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-542180
公開番号（公開出願番号）：特表2004-514054
出願日： 2001年11月12日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

本発明は、プラズマ発生器を使用した、処理対象物の処理するべき表面へのプラズマ噴射の発生、およびプラズマ発生器に対する処理対象物の相対変位を含む、処理するべき導電材料製対象物を処理するための空中プラズマ方式に関する。プラズマ噴射の少なくとも1つは陰極噴射であり、かつ、プラズマ噴射の少なくとも1つは、処理するべき表面の陰極噴射近くの処理ゾーンに適用される陽極噴射である。

請求項（抜粋）：

処理するべき導電材料製対象物を空中プラズマによって処理するための方法であって、プラズマ発生器によるプラズマ噴射の発生、処理するべき対象物の処理するべき表面へのプラズマ噴射の適用、プラズマ発生器に対する処理するべき対象物の相対変位を含み、プラズマ噴射の少なくとも1つが陰極噴射であり、プラズマ噴射の少なくとも1つが、処理するべき前記表面の陰極噴射近くの処理ゾーンに適用される陽極噴射であることを特徴とする方法。

IPC (9件)：

C23G5/00 , B01J19/08 , C21D1/04 , C21D1/34 , C23C16/513 , H05B7/148 , H05B7/18 , H05H1/40 , H05H1/44

FI (9件)：

C23G5/00 , B01J19/08 E , C21D1/04 , C21D1/34 S , C23C16/513 , H05B7/148 B , H05B7/18 E , H05H1/40 , H05H1/44

Fターム (33件)：

3K084AA07 , 3K084AA16 , 3K084BA00 , 4G075AA22 , 4G075AA30 , 4G075BA10 , 4G075BB10 , 4G075BC01 , 4G075BC10 , 4G075CA14 , 4G075CA23 , 4G075CA42 , 4G075CA47 , 4G075CA62 , 4G075CA63 , 4G075DA02 , 4G075EB21 , 4G075EC21 , 4G075EE31 , 4K030KA17 , 4K030KA30 , 4K053PA02 , 4K053PA10 , 4K053PA12 , 4K053PA14 , 4K053QA04 , 4K053RA03 , 4K053SA19 , 4K053TA12 , 4K053XA07 , 4K053XA41 , 4K053XA50 , 4K053YA01

引用特許：

審査官引用 (5件)

熱プラズマ発生法及び製膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-186119 出願人：松下電器産業株式会社
材料の溶融,燃焼あるいは焼却のための方法およびそのための装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-105763 出願人：シュラーインターナショナルインコーポレーテッド
材料のプラズマ利用反応性堆積方法の使用
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-615426 出願人：ユナキス・バルツェルス・アクチェンゲゼルシャフト

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