特許
J-GLOBAL ID：200903077926681425
切削装置のジャバラ機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-326020
公開番号（公開出願番号）：特開平7-156039
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月20日
要約：
【要約】【目的】 切削水によってガイドプレートが内側に倒れ込んだり或は歪や捩じれを生じることがなく、防水用ジャバラの動きを常に円滑に出来るようにした、切削装置のジャバラ機構を提供する。【構成】 ダイシング装置等の切削装置のジャバラ機構において、このジャバラ機構はチャックテーブルの両側に配設されたジャバラと、このジャバラのたわみを防止するためのガイドプレートと、このガイドプレートを案内するジャバラガイドと、前記チャックテーブルを挟んで配設されている両側のガイドプレートを連結する連結アームと、から構成される。
請求項（抜粋）：
ダイシング装置等の切削装置のジャバラ機構において、このジャバラ機構はチャックテーブルの両側に配設されたジャバラと、このジャバラのたわみを防止するためのガイドプレートと、このガイドプレートを案内するジャバラガイドと、前記チャックテーブルを挟んで配設されている両側のガイドプレートを連結する連結アームと、から構成された切削装置のジャバラ機構。
IPC (3件)：
B23Q 11/08
, H01L 21/68
, H01L 21/301
