特許
J-GLOBAL ID：200903077931087833
干渉計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-271563
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096603
出願日： 1996年09月20日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】 搬送波を乗せて干渉縞密度が高くなる方向に高分解能で測定画像を検出でき、しかも全体のデータ数を従来のものより増やさず、処理系の負荷が従来と変わらない位相シフト電子モアレ法を用いた干渉計測装置を得ること。【解決手段】 干渉計により多数の干渉縞を発生させて空間的な搬送波を生じせしめた被測定干渉縞画像を2 次元撮像デバイスを介して入力し、該被測定干渉縞画像と該搬送波の空間周波数とほぼ等しい周波数の干渉縞をもち、且つ夫々初期位相の異なる複数の参照画像との演算によって該被測定干渉縞画像の位相分布を得る位相シフト電子モアレ法を用いた干渉計測装置において、該2 次元撮像デバイスの撮像面の縦横サイズは異なり、該被測定干渉縞画像を偏倍手段により該撮像面上に縦横の結像倍率を変えて投影している。
請求項（抜粋）：
干渉計により多数の干渉縞を発生させて空間的な搬送波を生じせしめた被測定干渉縞画像を2 次元撮像デバイスを介して入力し、該被測定干渉縞画像と該搬送波の空間周波数とほぼ等しい周波数の干渉縞をもち、且つ夫々初期位相の異なる複数の参照画像との演算によって該被測定干渉縞画像の位相分布を得る位相シフト電子モアレ法を用いた干渉計測装置において、該2 次元撮像デバイスの撮像面の縦横サイズは異なり、該被測定干渉縞画像を偏倍手段により該撮像面上に縦横の結像倍率を変えて投影していることを特徴とする干渉計測装置。
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G01B 11/24
, G01M 11/00
G01B 9/02
, G01B 11/24 E
, G01M 11/00 L
, G01M 11/00 M
