特許
J-GLOBAL ID:200903077933994358

レーザ誘導分光分析法及びこの分析のための集成装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田代 烝治 (外1名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-503827
公開番号(公開出願番号):特表2000-514180
出願日: 1997年06月26日
公開日(公表日): 2000年10月24日
要約:
【要約】パルスレーザが、塩素を含む非金属材料もしくはせいぜい部分的に金属の材料の定量分光分析に、画像記録計、分光光度計及びCCDカメラを併用し、そのプラズマの拡大円錐から少なくとも体積片の光度を検出、加算及び分析することにより用いられる。これが、温度勾配及び密度勾配を遊離に測定することを可能にする。
請求項(抜粋):
パルスレーザビーム(P)を、ハロゲン、特に塩素を含む非金属材料もしくは多くとも部分的に金属の材料(T)に向けて、プラズマ(PA)を発生させ、そしてプラズマにより円錐形で拡大方向に放射された光を焦点集光させ、分光計(SP)を通過させ、そしてパルスレーザビーム(P)にトリガーをかけた後の予め定められた遅延後に分析することからなり、且つパルスレーザビーム(P)として約108〜約1012W/cm2の範囲のエネルギー密度を有するものを使用する上記非金属材料もしくは部分金属材料をレーザ発光により分光分析する方法であって、分析のための、安定で、再現性があり且つ高い明度のスペクトル線情報を得るために、拡大円錐の少なくとも1個の体積片(V)から生ずる全ての光度を合計しそして平均化することにより、プラズマ(PA)の密度勾配及び温度勾配を全範囲に亘って時間的且つ空間的に平均化することを特徴とする分光分析法。
IPC (2件):
G01N 21/63 ,  G01N 21/71
FI (2件):
G01N 21/63 Z ,  G01N 21/71

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