特許

J-GLOBAL ID：200903077938942518

縦型拡散炉

発明者： 日岡 勉 ,  狩野 恒男
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 開口 宗昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-127241
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329990
出願日： 1998年05月11日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】 ウエハの熱処理を行う際に炉芯管内部において生じ、液化した反応副生成物を容易に除去可能な縦型拡散炉を提供する。【解決手段】 内周側壁が保温筒ベース外周に密着し、かつウエハ支持ボートが炉芯管内に挿入された状態において外周側壁が炉芯管内壁に密着する凹型断面の2以上の部品からなり、全体として前記炉芯管内壁全周に密着する構造である受け皿を配する。また、受け皿を石英製とする。

請求項（抜粋）：

外周囲にヒータが配設されかつ反応ガス導入口及びガス排出口を有する炉芯管と、複数枚の半導体ウエハを搭載したウエハ支持ボートと、操業時において前記炉芯管をシールするキャッピングフランジと保温筒とを介して前記ウエハ支持ボートを載置しこれを前記炉心管内に対して挿入及び引出す機能を有するボートエレベーターとを備える縦型拡散炉において、それ自身以外の部品を取り外すことなしに着脱可能な構造の受け皿を前記キャッピングフランジの上部に備えることを特徴とする縦型拡散炉。

IPC (2件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/22

FI (2件)：

H01L 21/22 511 Q ,  H01L 21/22 511 B