特許
J-GLOBAL ID:200903077943676524
元素分析装置および元素分析方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
波多野 久 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-366333
公開番号(公開出願番号):特開2002-122543
出願日: 2000年11月30日
公開日(公表日): 2002年04月26日
要約:
【要約】【課題】前処理工程を必要とせずにオンラインで多種類の元素を同時に、リアルタイムに検出して定量する元素分析装置および分析方法を提供する。【解決手段】本発明は、パルスレーザ光を試料供給部1に集光照射してプラズマを生成するブレイクダウン手段10と、試料供給部1で生成したプラズマ中の定量対象元素にレーザ光を照射する共鳴励起手段11と、ブレイクダウン手段10のレーザ光と共鳴励起手段11のレーザ光との照射タイミングを制御するタイミング制御手段13と、試料供給部1で生成したプラズマが共鳴励起手段11により励起されたときに放出する蛍光を集光する蛍光集光手段24と、集光した蛍光から元素含有量を定量する蛍光分光測定手段26,27,28とを備えた。
請求項(抜粋):
パルスレーザ光を発生させるパルスレーザ発生手段と、前記パルスレーザ光を試料供給部に集光照射してプラズマを生成させるブレイクダウン手段と、前記試料供給部で生成したプラズマ中の定量対象元素にレーザ光を照射させる共鳴励起手段と、前記ブレイクダウン手段のレーザ光と前記共鳴励起手段のレーザ光との照射タイミングを制御するタイミング制御手段と、前記試料供給部で生成したプラズマが前記共鳴励起手段により励起されたときに放出する蛍光を集光する蛍光集光手段と、前記集光された蛍光から元素含有量を定量する蛍光分光測定手段とを備えたことを特徴とする元素分析装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N 21/64 D
, G01N 21/63 A
Fターム (29件):
2G043AA01
, 2G043BA02
, 2G043BA07
, 2G043BA10
, 2G043CA01
, 2G043CA02
, 2G043DA05
, 2G043EA01
, 2G043GA06
, 2G043GA07
, 2G043GB01
, 2G043GB18
, 2G043GB19
, 2G043GB21
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043HA05
, 2G043HA09
, 2G043HA11
, 2G043JA03
, 2G043KA02
, 2G043KA03
, 2G043KA05
, 2G043KA08
, 2G043KA09
, 2G043LA01
, 2G043LA02
, 2G043LA03
, 2G043MA04
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