圧力変動容器におけるガス採取方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河野登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-275248
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102153
出願日： 1992年09月17日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：

【要約】【目的】圧力変動容器内のガス圧力が急激に変化した場合においても、ガス分析装置へ導入されるガスの圧力を常に一定に保ち、ガスの高精度な成分分析を可能にする。【構成】排気ダクト2,ガス採取管3を介して、圧力変動容器1から排出される排ガスをガス分析計4へ導入し、排ガスの成分を分析する。ガス採取管3のガス分析計4入側に設けた圧力計17の計測値が一定となるように、ガス採取管3が途中で分枝しコンダクタンスが異なる配管5a, 5b, 5c, 5d, 5eから適宜配管を選択し、また排気管8が途中で分枝しコンダクタンスが異なる配管10a,10b,10c,10d,10e から適宜配管を選択して大幅なガス圧力変動に対応せしめる。さらに排気管12の途中に設けた圧力調整弁14の開度を連続制御してガス圧力の微調整を行う。

請求項（抜粋）：

圧力変動容器に連通する採取管を介して前記圧力変動容器内のガスを採取しガス分析装置へ導入する方法において、前記採取管に、コンダクタンスを変更制御する制御装置と、前記ガス分析装置入側のガス圧力を計測する圧力計とを前記圧力変動容器側からこの順に設けておき、前記圧力計の計測値に基づいて前記ガス分析装置へ導入するガス圧力が一定になるように前記制御装置によりコンダクタンスを変更制御することを特徴とする圧力変動容器におけるガス採取方法。

IPC (5件)：

G01N 1/22 , G05D 16/20 , H01L 21/205 , H01L 21/203 , H01L 21/302

引用特許：

審査官引用 (4件)

特公昭60-011085
特開平4-177162
特公昭60-011085

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