特許

J-GLOBAL ID：200903077946146437

熱処理装置

発明者： 大加瀬 亘
出願人/特許権者： 東京エレクトロン相模株式会社
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-307196
公開番号（公開出願番号）：特開平5-117865
出願日： 1991年10月28日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】 面状の被処理体の面内における実際の処理温度の測定を可能にして、高い精度で温度コントロールすることができる熱処理装置を提供することにある。【構成】 面状の被処理体の処理面とは反対側の裏面側において、少なくとも3箇所においてその先端が当接するよう下方に伸びる複数の支持体を設け、この支持体により前記面状の被処理体を支持するとともに、当該支持体を介して当該面状の被処理体の処理温度を測定することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

面状の被処理体の処理面とは反対側の裏面側において、少なくとも3箇所においてその先端が当接するよう下方に伸びる複数の支持体を設け、この支持体により前記面状の被処理体を支持するとともに、当該支持体を介して当該面状の被処理体の処理温度を測定することを特徴とする熱処理装置。

IPC (4件)：

C23C 16/46 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-291118
  
• 特開昭61-156742
  
• 特開昭63-270469