特許
J-GLOBAL ID：200903077953435851
銅または銅合金のエッチング用組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西教 圭一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-211574
公開番号（公開出願番号）：特開平6-057452
出願日： 1992年08月07日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：
【要約】【目的】 銅または銅合金のエッチングを行う際のサイドエッチを抑制し、微細パターン化に対応する。【構成】 塩化第2鉄水溶液、塩酸、ポリアミン化合物、およびポリエチレングリコールの混合物を銅または銅合金のエッチング用組成物として用いる。あるいは上記成分に2-アミノベンゾチアゾール系化合物を混合する。
請求項（抜粋）：
下記成分a,b,cおよびdを含むことを特徴とする銅または銅合金のエッチング用組成物。a)塩化第2鉄b)塩酸c)下記化学式(I)で示されるポリアミン化合物およびその塩酸塩、硫酸塩およびリン酸塩【化1】H2N(CH2CH2NH)nH (I)ただし、n=1〜5d)下記化学式(II)で示されるポリエチレングリコール【化2】HO(CH2CH2O)nH (II)ただし、n=1〜3
引用特許：
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