特許

J-GLOBAL ID：200903077956209429

薄膜トランジスタアレイの検査方法

発明者： 加藤 剛久 ,  江本 文昭 ,  千田 耕司
出願人/特許権者： 松下電子工業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-138687
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005691
出願日： 1994年06月21日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】 薄膜トランジスタアレイの検査時間を短縮し、多くの項目を測定する。【構成】 複数の平行な映像信号線4、この映像信号線4に電気的に絶縁されて交差する複数の垂直走査線、ならびに、映像信号線4と垂直走査線との交差位置において、ソース電極が映像信号線に、またゲート電極が垂直走査線にそれぞれ接続された複数のトランジスタ3を備えた薄膜トランジスタアレイの検査方法であって、水平走査回路1の出力によって複数のトランジスタ3のうちの一つを選択的にオンさせて、信号入力端子2a〜2cを介して隣接する映像信号線4間の電気抵抗を測定する。

請求項（抜粋）：

複数の平行な信号線、前記信号線に電気的に絶縁されて交差する複数の走査線、ならびに、前記信号線と前記走査線とが交差する位置において、ソース電極が前記信号線に、ゲート電極が前記走査線にそれぞれ接続された複数のトランジスタを備えた薄膜トランジスタアレイの検査方法であって、前記水平走査回路の出力によって前記複数のトランジスタのうちの一つを選択的にオンさせて、信号入力端子を介して隣接する信号線間の電気抵抗を測定する薄膜トランジスタアレイの検査方法。

IPC (3件)：

G01R 31/00 ,  G01R 31/26 ,  G02F 1/136 500