特許
J-GLOBAL ID：200903077957184055
カップ式めっき装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高月 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-215027
公開番号（公開出願番号）：特開平8-074088
出願日： 1994年09月08日
公開日（公表日）： 1996年03月19日
要約：
【要約】【目的】バンプメッキなどに用いられるカップ式めっき装置について、めっきの不均一性の原因となるめっき液の流速ムラや電流密度のムラを解消させる。【構成】供給口3からのめっき液Lの噴出流をめっき槽2内に拡散させるためのダンパー体4を供給口の上部に設け、また上部開口1におけるめっき液の流出口7に沿って電流遮蔽体8をめっき槽の内方に突出させて設けている。その電流遮蔽体は、流出口側の端部から突出先端に向けてめっき対象物Uのめっき対象面との間隔が徐々に広がるようになる形状の電流密度ガイド面8fを有することで特徴付けられる。
請求項（抜粋）：
カップ状のめっき槽の上部開口に載置しためっき対象物のめっき対象面に、めっき槽底部の供給口から噴出的に供給されるめっき液を上部開口から周囲に流出させつつ接触させてめっきするようになっているカップ式めっき装置において、供給口の上部にダンパー体を設け、このダンパー体により供給口からのめっき液の噴出流をめっき槽内に拡散させるようにしたことを特徴とするカップ式めっき装置。
IPC (4件)：
C25D 5/08
, C25D 7/12
, C25D 21/10 301
, H01L 21/321
