特許
J-GLOBAL ID:200903077962823775

導電性積層体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 静男 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-117815
公開番号(公開出願番号):特開平7-325313
出願日: 1994年05月31日
公開日(公表日): 1995年12月12日
要約:
【要約】【目的】 エッチング性および耐アルカリ性に優れた導電性積層体およびこの導電性積層体を利用した導電性透明基板を提供する。【構成】 本発明の導電性積層体は、膜厚100〜1000オングストロームの第1の非晶質複合酸化物層の上に膜厚10〜50オングストロームの金属薄膜層と膜厚100〜1000オングストロームの第2の非晶質複合酸化物層とが順次積層されてなる層構成を有し、前記第1の非晶質複合酸化物層および前記第2の非晶質複合酸化物層が共にIn酸化物とSn,GaおよびZnからなる群より選択された1種または複数種の金属の酸化物とからなる複合酸化物であって、全金属元素に占めるInの割合が20〜80モル%であるものからなり、前記金属薄膜層がAu,Ag,Cu,PtおよびAlからなる群より選択された1種または複数種からなることを特徴とする。また、本発明の導電性透明基板は、透明基板と、この透明基板の所定面上に直接またはアンダーコート層を介して設けられた前記の導電性積層体とを備えていることを特徴とする。
請求項(抜粋):
膜厚100〜1000オングストロームの第1の非晶質複合酸化物層の上に膜厚10〜50オングストロームの金属薄膜層と膜厚100〜1000オングストロームの第2の非晶質複合酸化物層とが順次積層されてなる層構成を有し、前記第1の非晶質複合酸化物層および前記第2の非晶質複合酸化物層が共にIn酸化物とSn,GaおよびZnからなる群より選択された1種または複数種の金属の酸化物とからなる複合酸化物であって、全金属元素に占めるInの割合が55〜80モル%であるものからなり、前記金属薄膜層がAu,Ag,Cu,PtおよびAlからなる群より選択された1種または複数種からなることを特徴とする導電性積層体。
IPC (3件):
G02F 1/1343 ,  B32B 9/00 ,  B32B 15/04
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 液晶表示装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-152914   出願人:ダイセル化学工業株式会社
  • 特開平3-187733
  • 特開平3-187737

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