特許
J-GLOBAL ID：200903077963259903
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-270928
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100366
出願日： 1998年09月25日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】走査電子顕微鏡において、目的とする最適視野を目的の倍率で的確に探索することを可能とする。【解決手段】設定した低倍率でステージ全範囲を連続移動させ目的の観察位置で、ポインティングデバイスを操作することで自動的に設定した高倍率に変更し、指定セル範囲を更に連続移動する。
請求項（抜粋）：
電子線を試料に走査して照射し、前記試料より発生する二次電子信号を画像信号として取り込む画像メモリと、前記電子線の走査幅を切り替える倍率切替え手段と、取り込んだ画像信号を画像表示領域に表示するディスプレイと、前記試料を少なくともX方向およびY方向にモータ駆動により移動させるため移動機構と、前記モータを制御するステージコントローラとを具備した走査電子顕微鏡において、ステージの移動範囲を指定する指定手段を有し、該指定範囲内をステージのX,Y方向の移動によりステージを二次元的に連続走査するステージ走査駆動手段と、該ステージ走査駆動中の任意の位置でステージ駆動を停止させるステージ停止手段を設けたことを特徴とした走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/20
, H01J 37/22 502
H01J 37/20 D
, H01J 37/22 502 H
