特許
J-GLOBAL ID：200903077974982003
ガラス基板の洗浄方法、及び洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-297549
公開番号（公開出願番号）：特開平5-134397
出願日： 1991年11月14日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：
【要約】【目的】 ガラス基板上に付着した微小な異物を除去可能とするとともに、水シミを生じさせないガラス基板の洗浄方法、及び洗浄装置を得る。【構成】 ガラス基板10を親水化する第1の洗浄槽20と親水化したガラス基板に水分子を拡散浸透させる第2の洗浄槽30と温純水中からガラス基板10を一定速度で引き上げることにより乾燥を行う第3の洗浄槽40と収納部50、及び搬送系5を備え、第1の洗浄槽20、第2の洗浄槽30、第3の洗浄槽40の順番で洗浄を行う。
請求項（抜粋）：
ガラス基板に付着した異物を除去するガラス基板洗浄方法であって、前記ガラス基板の表面を親水性化する第1工程と;前記第1工程によって親水性化された前記の表面に純水、或いは温純水を拡散浸透させる第2工程と;前記第2工程によって純水、或いは温純水が拡散浸透した前記ガラス基板の表面に付着した前記異物を除去する第3工程と;を有することを特徴とするガラス基板洗浄方法。
IPC (3件)：
G03F 1/08
, B08B 3/10
, H01L 21/304 341
