特許
J-GLOBAL ID：200903077975961891
光ビーム走査光学装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-360284
公開番号（公開出願番号）：特開平6-202026
出願日： 1992年12月29日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】本発明は、格段と簡易な構成の光ビーム走査光学装置の実現を目的とするものである。【構成】所定の光源2から放射されるレーザビームL1を平面平行板形状の分光手段3で分光して、得られた当該レーザビームの分岐ビームL3から当該レーザビームのレーザ強度を検出すると共に、分岐ビーム以外のレーザビームを当該分光手段3を透過させることで当該レーザビームに非点較差を生じさせるようにしたことにより、レーザビームのレーザ強度を検出しながら、分光手段の屈折率及びレーザビームに対する配置角度等を調整することでレーザビーム照射対象の照射面7上に所定形状のビームスポツトを成形し得ると共に、当該レーザビーム自身の非点較差の補正をすることができ、かくして格段に簡易な構成の光ビーム走査光学装置を実現できる。
請求項（抜粋）：
光源から放射された非点較差のない第1のレーザビームを所定の走査手段によつてレーザビーム照射対象の照射対象面上を走査させると共に、このとき上記第1のレーザビームのレーザ強度を所定のレーザ強度検出手段で検出し、検出結果に基づいて上記第1のレーザビームのレーザ強度を調整する光ビーム走査光学装置において、上記光源及び上記レーザビーム照射対象間に配設され、上記第1のレーザビームを分光してモニタ用の第2のレーザビームを上記レーザ強度検出手段に供給すると共に、このとき上記走査手段方向に透過する上記第1のレーザビームに対して非点較差を生じさせる平面平行板状に形成された分光手段を具え、上記分光手段を透過した上記第1のレーザビームに生じる上記非点較差によつて上記レーザビーム照射対象の上記照射対象面上における上記第1のレーザビームのビームスポツト形状を所定形状に形成することを特徴とする光ビーム走査光学装置。
IPC (3件)：
G02B 26/10
, G02B 5/30
, H04N 1/04 104
