特許
J-GLOBAL ID：200903077976191232
回転処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-044028
公開番号（公開出願番号）：特開平6-260473
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 回転軸の軸受部のシールが確実で、外部からの発塵の筺体内へ侵入を防止でき、且つ筐体内に発生した水分のシール部への侵入を確実に抑えてシール機能の減退を防げる軸受機構を備えた回転処理装置を提供することにある。【構成】 ウエハ11を保持した回転保持機構56を筺体54内に支持する回転軸55の軸受機構57を、筐体54の壁92に設けたケーシング177と、このケーシング177内に配する軸受178と、ケーシング177内の軸受178よりも内端側に配する磁性流体シール179と、更に内端側に配するラビリンスシール185と、これよりも内端側の狭いラビリンス空間に清浄気体を供給するパージガス導入通路186と、その清浄気体を排気する強制排気機構188とを備えて構成し、且つこの軸受機構57より内端側に回転軸55と一体に回転する大径鍔状のスリンガ190,191を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被処理体を保持した回転保持機構を筺体内に設けられた回転軸により支持して回転しながら前記被処理体を処理する回転処理装置において、前記筐体の壁部に設けた軸受ハウジングと、この軸受ハウジング内に配し前記回転軸を回転自在に支承する軸受と、前記軸受ハウジング内の軸受よりも内端側に配する磁性流体シールと、更に前記軸受ハウジング内の磁性流体シールよりも内端側に配するラビリンスシールと、このラビリンスシールの狭い空間に清浄気体を供給するパージガス導入通路とを備えてなる軸受機構を設け、且つこの軸受機構より内端側に前記回転軸と一体に回転する大径鍔状のスリンガを設けて構成したことを特徴とする回転処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 351
, F26B 11/04
