特許

J-GLOBAL ID：200903077981579818

ラッピング機における定盤修正研磨装置

発明者： 木村 英彦
出願人/特許権者： 株式会社表面加工技術研究所
代理人 (1件)： 田中 武文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-163609
公開番号（公開出願番号）：特開平9-323254
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】 ラッピング機における遊星歯車機構を利用した従来の定盤修正研磨装置において、歯車に加わる無用の負荷を除き、歯の激しい摩耗を改善する。【解決手段】 太陽歯車、内歯歯車および両歯車とかみ合って自転および公転する加工物保持用キャリヤ歯車(遊星歯車)からなる遊星歯車機構と、上記キャリヤ歯車の両面に当接された研磨定盤とを有するラッピング機において、上記キャリヤ歯車を取りはずし、それに代え上記両研磨定盤間において、上記内歯歯車の内径より外径の小さいリング状体の外周に歯を設けてなる修正研磨リングを、上記内歯歯車とかみ合わせた状態で、該内歯歯車の内側に位置させ、歯をもたない小輪を、上記修正研磨リングの内周および太陽歯車にそれぞれ接した状態で、該修正研磨リングと太陽歯車との間のほぼ最大間隔の個所に位置させた、ラッピング機における定盤修正研磨装置。

請求項（抜粋）：

太陽歯車、内歯歯車および両歯車とかみ合って自転および公転する加工物保持用キャリヤ歯車(遊星歯車)からなる遊星歯車機構と、上記キャリヤ歯車の両面に当接された研磨定盤とを有するラッピング機において、上記キャリヤ歯車を取りはずし、それに代え上記両研磨定盤間において、上記内歯歯車の内径より外径の小さいリング状体の外周に歯を設けてなる修正研磨リングを、上記内歯歯車とかみ合わせた状態で、該内歯歯車の内側に位置させ、歯をもたない小輪を、上記修正研磨リングの内周および太陽歯車にそれぞれ接した状態で、該修正研磨リングと太陽歯車との間のほぼ最大間隔の箇所に位置させた、ラッピング機における定盤修正研磨装置。