特許

J-GLOBAL ID：200903077985185245

有機金属気化用容器

発明者： 八子 忠明
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-181425
公開番号（公開出願番号）：特開平6-020951
出願日： 1991年07月23日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【構成】容器内に充填した液状有機金属にキャリアガスを導入し、前記有機金属をキャリアガス中に気化させた後容器外に導出する機構よりなる有機金属気化用容器において、容器内に液状有機金属を含浸した担体を存在せしめ、かつキャリアガスは有機金属の液相中に排出することなく担体の空隙部を通過せしめて容器外に導出するようにキャリアガス導入管の開口部を容器底部近傍に配設したことを特徴とする有機金属気化用容器。【効果】気相成長装置への供給ガス量が少ない場合、或いは使用する液状有機金属の濃度が高い場合でもガス流に脈流がなく、キャリアガス中に含まれる有機金属濃度に変動の少ないガスの供給を可能にした。

請求項（抜粋）：

容器内に充填した液状有機金属にキャリアガスを導入し、前記有機金属をキャリアガス中に気化させた後容器外に導出する機構よりなる有機金属気化用容器において、容器内に液状有機金属を含浸した担体を存在せしめ、かつキャリアガスは有機金属の液相中に排出することなく担体の空隙部を通過せしめて容器外に導出するようにキャリアガス導入管の開口部を容器底部近傍に配設したことを特徴とする有機金属気化用容器。