特許

J-GLOBAL ID：200903077989825834

等級化された密度を有するナノポーラス誘電体フィルム及びそのようなフィルムの製造方法

発明者： ウォーレス,スティーブン ,  スミス,ダクラス・エム ,  ラモス,テレサ ,  ロデリック,ケヴィン・エイチ ,  ドラッジ,ジェームズ・エス
出願人/特許権者： アライドシグナル・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-543964
公開番号（公開出願番号）：特表2001-520805
出願日： 1998年04月02日
公開日（公表日）： 2001年10月30日
要約：

【要約】本発明は、ナノポーラス誘電体フィルム(10)及びそれらの製造方法に関する。その表面上に浮き上がった複数の配線(4)を有する支持体(2)に、該浮き上がった配線(4)間に配置された相対的に高い多孔度の低誘電率ケイ素含有ポリマー組成物(10)、及び該配線(4)上に配置された相対的に低い多孔度の高誘電率ケイ素含有ポリマー組成物(8)が提供される。

請求項（抜粋）：

多密度ナノポーラス誘電体コーテッド支持体であって、支持体、該支持体上に浮き上がった複数の配線、該浮き上がった配線間に配置された相対的に高い多孔度の低誘電率ケイ素含有ポリマー組成物、及び該配線の上面上に配置された相対的に低い多孔度の高誘電率ケイ素含有ポリマー組成物を含んでなる支持体。

IPC (2件)：

H01L 21/316 ,  H01L 21/768

FI (2件)：

H01L 21/316 M ,  H01L 21/90 S