特許

J-GLOBAL ID：200903077995062206

基板の洗浄装置

発明者： 安部 宣利
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-128247
公開番号（公開出願番号）：特開平8-318237
出願日： 1995年05月26日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】 基板表面に付着した異物を確実に除去する。【構成】 本発明では、ブラシスクラブ槽106において洗浄液で浸潤された基板の表面をブラシなどの接触部材106cによりスクラブ洗浄する。次いで、水洗槽108においてライン状の超音波水流を噴射する水洗手段108bで基板の表面全体を純水による超音波洗浄する。次いで、異物検査装置102により光学的にレチクル表面を検査し、残存する異物を検出し、その位置を記憶する。そしてその異物マップに基づいてスポット状の強力な超音波水流を噴射する局所洗浄器108aによりその異物が存在する領域のみを局所的に洗浄する。

請求項（抜粋）：

基板の被洗浄面に付着した異物を洗浄して除去する基板の洗浄装置であって、基板の被洗浄面を洗浄液で浸潤し、その被洗浄面に付着した異物を接触部材により擦って除去する異物除去手段と、その異物除去手段により異物が除去された前記基板の被洗浄面全体を純水にて洗浄する水洗手段と、その水洗手段により洗浄された前記基板の被洗浄面に残存する異物を検出して、その異物の位置を記憶する異物検査手段と、前記被洗浄面のうち、少なくとも前記異物検査手段に記憶された異物の位置を含む領域に対して局所洗浄を行う局所洗浄手段と、を備えていることを特徴とする、基板の洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 7/04 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B08B 7/04 A ,  H01L 21/304 341 B ,  H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/304 341 S