特許

J-GLOBAL ID：200903077997573372

圧力検出装置

発明者： 田中 宏明
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-229007
公開番号（公開出願番号）：特開2002-039891
出願日： 2000年07月28日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：

【要約】【課題】 受圧用のダイヤフラムと、このダイヤフラムの一面側に形成されダイヤフラムの歪みに応じて抵抗値が変化する複数個のピエゾ抵抗と、複数個のピエゾ抵抗により構成された複数のブリッジ回路とを備え、故障診断可能な圧力検出装置において、ピエゾ抵抗の配置余裕度を大きくする。【解決手段】 シリコン半導体基板1の一面1a側に形成されたダイヤフラム3上には、複数個のピエゾ抵抗41〜44、51〜54により、2つのブリッジ回路4、5が同心円状に形成されており、第1のブリッジ回路4は、ダイヤフラム3の歪みに応じてブリッジ出力が変化する圧力検出用のものであり、第2のブリッジ回路5は、ダイヤフラム3の歪みに応じて個々のピエゾ抵抗51〜54の抵抗値が変化するようになっているとともに、ダイヤフラム3の歪みに応じてブリッジ出力が変化しないように結線されている。

請求項（抜粋）：

受圧用のダイヤフラム(3)と、このダイヤフラムの一面側に形成され、前記ダイヤフラムの歪みに応じて抵抗値が変化する複数個のピエゾ抵抗(41〜44、51〜54)と、前記複数個のピエゾ抵抗により構成された検出回路とを備える圧力検出装置において、前記検出回路は、前記ダイヤフラムの歪みに応じてブリッジ出力が変化する圧力検出用の第1のブリッジ回路(4)と、前記ダイヤフラムの歪みに応じて個々のピエゾ抵抗の抵抗値が変化するようになっているとともに、前記ダイヤフラムの歪みに応じてブリッジ出力が変化しないように結線されている第2のブリッジ回路(5)とにより構成されていることを特徴とする圧力検出装置。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

G01L 9/04 101 ,  H01L 29/84 B

Fターム (17件)：

2F055AA11 ,  2F055AA22 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF28 ,  2F055FF49 ,  2F055GG16 ,  2F055GG31 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA05 ,  4M112CA09 ,  4M112CA10 ,  4M112DA04 ,  4M112EA03 ,  4M112GA03