特許
J-GLOBAL ID:200903077998509309
スクライブ装置及び多軸スクライブ装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
塩島 利之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-045718
公開番号(公開出願番号):特開2009-274434
出願日: 2009年02月27日
公開日(公表日): 2009年11月26日
要約:
【課題】スクライブ工具からワークに付与される荷重を安定化させることができるスクライブ装置を提供する。【解決手段】本発明のスクライブ装置は、マグネット5を有する軸部材1と、軸部材1の周囲を囲む複数のコイル8を有する電機子2と、軸部材1の先端に設けられ、薄板状のワークWにスクライブ線を刻むためのスクライブ工具4と、スクライブ工具4をワークWの表面に沿って相対的に移動させる移動機構21と、を備える。電機子2のコイルに電流を流すことによって、スクライブ工具がワークWの表面に向かって進退する。スクライブ工具がワークWの表面に接触したとき、さらに電機子2のコイルに電流を流すことによって、ワークWの表面内におけるスクライブ工具4の進行方向に倣って軸部材1がその軸線の回りを回転できる状態で、スクライブ工具4からワークWに荷重が付与される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
マグネットを有する軸部材と、
前記軸部材の周囲を囲むコイルを有する電機子と、
前記軸部材の先端に設けられ、薄板状のワークにスクライブ線を刻むためのスクライブ
工具と、
前記スクライブ工具を前記ワークの表面に沿って相対的に移動させる移動機構と、を備
え、
前記電機子の前記コイルに電流を流すことによって、前記スクライブ工具が前記ワーク
の表面に向かって進退し、
前記スクライブ工具が前記ワークの表面に接触したとき、さらに前記電機子の前記コイ
ルに電流を流すことによって、前記ワークの表面内における前記スクライブ工具の進行方
向に倣って前記軸部材がその軸線の回りを回転できる状態で、前記スクライブ工具から前
記ワークに荷重が付与されるスクライブ装置。
IPC (5件):
B28D 5/00
, C03B 33/10
, C03B 33/037
, B28D 1/24
, H01L 21/301
FI (5件):
B28D5/00 Z
, C03B33/10
, C03B33/037
, B28D1/24
, H01L21/78 G
Fターム (16件):
3C069AA03
, 3C069BA04
, 3C069BB01
, 3C069BC03
, 3C069CA05
, 3C069CA11
, 3C069EA02
, 4G015FA03
, 4G015FB01
, 4G015FB02
, 4G015FC02
, 4G015FC07
, 4G015FC10
, 4G015FC11
, 4G015FC12
, 4G015FC14
引用特許:
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