特許

J-GLOBAL ID：200903078002797113

検査方法、検査装置およびマスク欠陥検査方法

発明者： 池田 弘行
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (3件)： 大胡 典夫 ,  竹花 喜久男 ,  宇治 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-065118
公開番号（公開出願番号）：特開2004-271444
出願日： 2003年03月11日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】検査装置において、光源の変動が生じたり、検査対象が変っても、検査体に対して常に安定して高精度の検査が行える検査方法とその装置を提供すること。【解決手段】検査対象1を検査する前には、テストパターン1aの光量を蓄積型ラインセンサ7で測定し、測定結果が予め定められている基準値範囲内に入っているかを判断し、それに応じてキャリブレーショウンを行い、その後に検査対象1を検査する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数段のラインで電荷を蓄積する蓄積型ラインセンサと検査対象とを相対的に移動させて、前記蓄積型ラインセンサの撮像により得られる前記検査対象の画像データと該検査対象の参照データとを比較して前記検査対象を検査する検査方法であって、 前記検査対象を検査する前に、テストパターンを前記蓄積型ラインセンサで測定する測定ステップと、 この測定ステップによる測定結果が予め定められている基準値範囲内に入っているかを判断する判断ステップと、 前記測定結果が前記基準値範囲内に入っている場合に、キャリブレーションを行うキャリブレーションステップと、 前記キャリブレーションを行った後に、前記検査対象に対して検査を行う検査ステップと、 前記測定結果が前記基準値範囲内に入っていない場合に、前記結果に基づいて前記蓄積型ラインセンサのスキャン時間を求めるスキャン時間設定ステップと、 スキャン時間設定ステップにより求められたスキャン時間に、前記蓄積型ラインセンサのスキャン時間を変更するスキャン時間変更ステップと を有することを特徴とする検査方法。

IPC (3件)：

G01B11/30 ,  G03F1/08 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G01B11/30 A ,  G03F1/08 S ,  H01L21/30 502P

Fターム (20件)：

2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC18 ,  2F065EE09 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM03 ,  2F065NN12 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ39 ,  2F065UU06 ,  2H095BD04 ,  2H095BD17 ,  2H095BD27