特許

J-GLOBAL ID：200903078003993773

高さ判別装置および方法

発明者： 三宅 民生
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 青木 輝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-181681
公開番号（公開出願番号）：特開平10-009827
出願日： 1996年06月24日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 共焦点光学系を用いて物体の高さを判別する高さ判別装置に関し、試料物体を光軸方向へ移動させることなしに、低コストで高精度な高さ判別装置を提供することを目的とする。【解決手段】 複数の波長成分を含む光を発生する光源1と、試料物体5に前記光を集束照射する色収差を有する対物レンズ4と、試料物体からの反射光を波長成分別に受光する光検出器7と、光検出器での受光量が最大である波長成分の前記対物レンズにおける焦点位置を試料物体の高さ位置とする処理部10とを備える。

請求項（抜粋）：

複数の波長成分を含む光を発生する光源と、試料物体に前記光を集束照射する色収差を有する対物レンズと、前記試料物体からの反射光を波長成分別に受光する光検出器と、前記光検出器での受光量が最大である波長成分の前記対物レンズにおける焦点位置を前記試料物体の高さ位置とする処理部と、を備えることを特徴とする高さ判別装置。

IPC (4件)：

G01B 11/02 ,  G01B 11/00 ,  H01L 21/60 311 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01B 11/02 Z ,  G01B 11/00 E ,  H01L 21/60 311 Q ,  H01L 21/66 R