特許
J-GLOBAL ID：200903078005049339
ウェハ搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯田 堅太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-329650
公開番号（公開出願番号）：特開平10-173022
出願日： 1996年12月10日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 ウェハの位置合わせ装置を簡略化することによって、コストを低減し、省スペース化を図るとともに搬送時間のタクトタイムを少なくできるウェハ搬送装置を提供すること。【解決手段】 ウェハ搬送装置Mは、ウェハWの位置合わせを行なうオリフラ合わせ装置2と、オリフラ合わせ装置2にウェハW搬送するロボット1と、ロボット1に補正指令を与える制御装置3とを有している。オリフラ合わせ装置2が、ウェハWの位置を検出する検出装置23を有し、ロボット1が、機台11と、機台11に対して回動可能なロボットハンド13とを有して構成され、制御装置3が、検出装置23によって検出されるウェハWの中心位置に対する、予め設定されたウェハWの中心位置とのX軸方向、Y軸方向の位置ずれを、ロボットハンド13の機台11に対する角度補正量Δθとして演算し、演算した角度補正量Δθをロボット1に補正指令し、ロボット1のロボットハンド13が、制御装置3から指令される補正量に従って角度補正されて、ウェハWを取りに行く。
請求項（抜粋）：
ウェハの位置合わせを行なう位置合わせ装置と、前記位置合わせ装置に前記ウェハを搬入及び搬出するロボットと、前記ロボットに補正指令を与える制御装置と、を有するウェハ搬送装置であって、前記位置合わせ装置が、前記ウェハの位置を検出する検出装置を有し、前記ロボットが、機台部と、前記機台部に対して回動可能なロボットハンド部と、を有して構成され、前記制御装置が、前記検出装置によって検出されるウェハの中心位置に対する、予め設定されたウェハの中心位置とのX軸方向、Y軸方向の位置ずれを、前記ロボットハンドの機台に対する補正角度として演算し、演算した角度補正量を前記ロボットに補正指令し、前記ロボットが、前記制御装置から指令される補正量に従って角度補正されることを特徴とするウェハ搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 9/06
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 M
, B25J 9/06 D
, B65G 49/07 Z
