液晶表示装置およびその作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-071075
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236825
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【目的】開口率の高いアクティブマトリクス型液晶表示装置を提供する。【構成】ブラックマトリクス204と画素電極205とが重なり合う領域において、窒化膜でなる絶縁層を介して保持容量が形成される。特に、206で示される領域はブラックマトリクス204の薄膜トランジスタを覆う領域を全て活用するので面積を稼ぐことができる。本発明は、第2の層間絶縁膜として比誘電率の小さい有機性樹脂材料または無機性材料を利用しているため、寄生容量を考慮せずに保持容量を形成することが可能となる。

請求項（抜粋）：

同一基板上にマトリクス状に配列される複数のゲイト線およびデータ線と、前記ゲイト線およびデータ線の各交点に配置される画素電極および該画素電極に接続される薄膜トランジスタと、を少なくとも有してなる液晶表示装置であって、前記ゲイト線を覆う第1の層間絶縁膜および前記データ線を覆って成膜される有機性樹脂材料または無機性材料でなる第2の層間絶縁膜と、前記第2の層間絶縁膜を介して前記薄膜トランジスタの上方に形成されるブラックマトリクスと、前記ブラックマトリクスを覆って成膜される窒化膜でなる第3の層間絶縁膜と、前記第3の層間絶縁膜上に形成される画素電極と、を少なくとも有し、前記ブラックマトリクスおよび前記画素電極との間に前記第3の層間絶縁膜を介して保持容量が形成されていることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (4件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1333 505 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (5件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1333 505 , H01L 29/78 616 A , H01L 29/78 617 K , H01L 29/78 619 B

引用特許：

審査官引用 (6件)

液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-175964 出願人：キヤノン株式会社
薄膜トランジスタおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-200862 出願人：セイコーエプソン株式会社
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-324435 出願人：セイコーエプソン株式会社

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