特許

J-GLOBAL ID：200903078007354260

放物状のX線ミラーと水晶モノクロメータを含むX線分析装置

発明者： コーガン,ウラディミール アー
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-584287
公開番号（公開出願番号）：特表2002-530671
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2002年09月17日
要約：

【要約】材料のX線分析のための装置は、X線を平行化するために放物状の多層ミラーを有利に使用する。更に、例えば、水晶モノクロメータを用いて平行化された放射線を単色化することが望ましい。本発明によると、X線のための影響装置は、X線ミラー(46)とモノクロメータ(48)の組み合わせを有する単一の機械的ユニットとして構成される。このユニット(66)は、第1の位置(74)においてX線がX線ミラー(46)及びモノクロメータ(48)を介して進み、又、第2の位置(76)においてX線がX線ミラー(46)のみを介して進むように少なくとも2つの位置(74、76)において分析装置の中に配置され得る。その結果、X線ミラーのみを有する、又は、X線ミラーとモノクロメータの組み合わせを有する別のユニットは要求されず、費用を実質的に節約することが実現される。

請求項（抜粋）：

検査されるべき試料を受容する試料格納場所と、 X線を用いて上記試料を照射するX線源と、 上記試料から出射されるX線を検出する検出器と、 上記X線源と上記検出器との間のビーム路の中に配置され、上記X線に影響を与え、単一の機械的ユニットとして構成される影響装置と、 上記X線源と上記検出器との間の上記ビーム路の中に少なくとも上記影響装置を配置するフレームとを有し、 上記影響装置は単色化素子と二次反射面を具備するX線ミラーとを含み、上記2つのX線光学素子のうち少なくとも一つは上記ビーム路の中に置かれるX線分析装置であって、 上記影響装置は、上記X線ミラー及び上記単色化素子を含む第1の放射線チャンネルと、上記X線ミラーのみを含む第2の放射線チャンネルとを含むよう構成され、 単一の機械的ユニットとして構成される上記影響装置と、上記分析装置のフレームとには夫々協動する配置手段が設けられ、上記協動する配置手段は、任意に、上記第1の放射線チャンネルが上記ビーム路の中に配置される第1の位置、又は、上記第2の放射線チャンネルが上記ビーム路の中に配置される第2の位置を占め得るよう構成されることを特徴とするX線分析装置。

IPC (4件)：

G01N 23/207 ,  G02B 17/00 ,  G21K 1/06 ,  G21K 5/02

FI (4件)：

G01N 23/207 ,  G02B 17/00 Z ,  G21K 1/06 M ,  G21K 5/02 X

Fターム (16件)：

2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001EA02 ,  2G001EA09 ,  2G001EA20 ,  2G001KA08 ,  2G001SA01 ,  2G001SA02 ,  2H087KA12 ,  2H087LA25 ,  2H087NA05 ,  2H087RA04 ,  2H087RA13 ,  2H087TA04 ,  2H087TA06