感放射線性樹脂組成物溶液

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-198742
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043651
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】本発明の感放射線性樹脂組成物溶液は、組成物溶液中の酸成分の含有量が1×10-3ミリ当量/g以下の範囲に調整されており、微細パターン形成用のレジストとして好適に使用される。【効果】本発明によれば、現像液による膨潤がなく、現像性、パターン形状、フォーカス許容性、耐熱性、パターン忠実度、リソグラフィープロセス安定性などに優れ、高感度かつ高解像度で様々な放射線源に対応できるレジストとして好適な感放射線性樹脂組成物溶液を得ることができる。

請求項（抜粋）：

(1)アルカリ可溶性樹脂、(2)感放射線性酸形成剤、および(3)(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を制御する性質を有し、そして酸の存在下で分解されて(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性制御効果を低下もしくは消失する性質または(1)のアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を促進する性質を発現する化合物を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物溶液において、酸成分の含有量が1×10-3ミリ当量/g以下の範囲に調整されていることを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物溶液。

IPC (3件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-134347
特開平2-177031
特開平4-158363

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