X線、中性子線又は電子線回折方法及び装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：秋田収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-184163
公開番号（公開出願番号）：特開平11-030597
出願日： 1997年07月09日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】イメージングプレートを用いた回折装置において、蛍光や散乱の発生量が大きい被検体であっても非破壊、非接触で、かつS/N比よく解析する。【解決手段】被検体の解析を行うためのX線、中性子線又は電子線回折方法であって、前記被検体の所定領域に、ビーム軸が一定方向を向いたX線、中性子線又は電子線のビームを照射し、ビームが照射される前記所定領域を実質的に変化させないように、かつ前記X線、中性子線又は電子線のビームのビーム軸と前記所定領域の接平面とのなす角度を実質的に変化させないように、前記被検体を回転させ、イメージングプレートを用い、前記被検体の所定角度幅の回転ごとに前記被検体からの回折線の像を形成させ、形成された像のデータを読み出し、前記被検体の所定角度幅の回転ごとの出力データを得、前記出力データを演算処理して所要の解析情報を得る方法である。

請求項（抜粋）：

被検体の解析を行うためのX線、中性子線又は電子線回折方法であって、回折線を得るために、前記被検体の所定領域に、ビーム軸が一定方向を向いたX線、中性子線又は電子線のビームを照射する過程と、前記X線、中性子線又は電子線のビームが照射される前記所定領域を実質的に変化させないように、かつ前記X線、中性子線又は電子線のビームのビーム軸と前記所定領域の接平面とのなす角度を実質的に変化させないように、前記被検体を回転させる過程と、イメージングプレートを用い、前記被検体の所定角度幅の回転ごとに前記被検体からの回折線の像を形成させる過程と、前記イメージングプレートに形成された像のデータを読み出し、前記被検体の所定角度幅の回転ごとの出力データを得る過程と、前記出力データを演算処理して所要の解析情報を得る過程とを備えたことを特徴とするX線、中性子線又は電子線回折方法。

IPC (3件)：

G01N 23/20 , G21K 1/06 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 23/20 , G21K 1/06 K , H01L 21/66 J

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-161843
電子回折画像のピーク抽出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-044311 出願人：日本電子株式会社
特開昭57-183426

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