特許
J-GLOBAL ID：200903078010992057
マイクロ電気機械的テレビ走査デバイスとその製造法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-505283
公開番号（公開出願番号）：特表平9-502580
出願日： 1994年07月19日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】テレビ画像走査または関連機能のため電気的に作動されるマイクロ電気機械的テレビ走査デバイス。この走査デバイスはサブミリメートル範囲の特徴的サイズを有する形に製造する事ができる。この走査装置は2自由度を有する静電作動プレート(30)から成る。平行放射線エミッター、平行放射線デテクタ(52)または適当装置をこのプレート上に配置し、またはこれらの放射線をプレートから反射させ、この走査装置をフライング・スポット・スキャナー、テレビイメージ・ディセクタまたはテレビディスプレーとして容易に作動させる事ができる。この走査デバイスはモノリシック集積回路として簡単に製造する事ができる。
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板上に配置された可撓性継手と、 前記可撓性継手に取り付けられた支持体と、 前記基板と、可撓性継手と、前記支持体との少なくとも1つの上に形成されて前記支持体を基板に対して運動させるアクチュエータと、 前記支持体の上側面に配置された放射線コリメート素子とを含む事を特徴とする走査デバイス。
IPC (4件)：
H04N 3/10
, G02B 26/08
, H01L 31/0232
, H01L 41/09
H04N 3/10
, G02B 26/08 E
, H01L 41/08 C
, H01L 31/02 D
