特許
J-GLOBAL ID：200903078013067737
磁気ヘッド装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 恵一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-152596
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349222
出願日： 1993年06月01日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 スライダ加工を行う際の変形をできるだけ抑えることのできる磁気ヘッド装置の製造方法を提供する。【構成】 複数列で並ぶ磁気ヘッド素子11を薄膜集積技術によってウエハ10上に形成する工程と、形成された磁気ヘッド素子の最外列12における磁気媒体と対向する面と反対側の側面13が露出するようにこのウエハ10を切断する工程と、ウエハ10のこのように露出した側面13のほぼ全面に加工用治具14の平面を接着する工程と、加工用治具14が接着されている状態でこのウエハ10を切断して最外列12のバー15を切り出すバー切断工程とを備えている。
請求項（抜粋）：
複数列で並ぶ磁気ヘッド素子を薄膜集積技術によってウエハ上に形成する工程と、形成された磁気ヘッド素子の最外列における磁気媒体と対向する面と反対側の側面が露出するように該ウエハを切断する工程と、該ウエハの該露出した側面のほぼ全面に加工用治具の平面を接着する工程と、加工用治具が接着されている状態で該ウエハを切断して最外列のバーを切り出すバー切断工程とを備えたことを特徴とする磁気ヘッド装置の製造方法。
IPC (4件)：
G11B 21/21 101
, G11B 5/31
, G11B 5/39
, G11B 5/60
