段差付きコイル製造方法、段差付きコイル、リニアモ-タ、ステ-ジ装置、露光装置ならびにデバイス製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西山恵三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-298171
公開番号（公開出願番号）：特開2000-209838
出願日： 1999年10月20日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】段差付きコイルの加工工数を低減してコイル単体の信頼性を向上でき、さらに分厚いコイルが作製可能で部品点数や組み立て工数の低減を図ることができるリニアモータ用段差付きコイルおよびその製造方法を提供する。【解決手段】導体箔fをロール状に巻回してロールコイルrを作製し、ワイヤカット加工機のワイヤwでロールコイルrを第1と第2のワイヤ経路p1 、p2に沿って切断することにより、磁石に対面する窪んだ磁石面mを段差をもって形成する段差付き偏平コイルCbを作製する。同様にロールコイルrから段差を有しない偏平コイルCaを切り出して、この偏平コイルCaの磁石面と段差付き偏平コイルCbの磁石面mを面一になるように一部重複して配してユニットコイルを形成して、このユニットコイルを複数隣接配置して、リニアモータ用固定子を構成する。

請求項（抜粋）：

導体箔をロール状に巻回してロールコイルを作成する工程と、該ロールコイルをワイヤカットで段差を形成するように段差付きコイルを切り出す工程とを有することを特徴とする段差付きコイル製造方法。

IPC (3件)：

H02K 41/02 , H01F 5/00 , H02K 3/04

FI (3件)：

H02K 41/02 A , H01F 5/00 F , H02K 3/04 D

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平2-197249
特開昭61-125115
無ブラシ線型駆動制御システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-118029 出願人：財団法人韓国科学技術研究院

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審査官引用 (5件)

特開平2-197249
特開昭61-125115
無ブラシ線型駆動制御システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-118029 出願人：財団法人韓国科学技術研究院

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