特許
J-GLOBAL ID：200903078022180910
レチクル検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-320221
公開番号（公開出願番号）：特開平7-175205
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】誤検出を防止でき効率のよいレチクル検査方法を提供する。【構成】レチクル26のパターンを鏡面ウエハ14に縮小投影し、この縮小投影されたパターンをCCDカメラ16で撮影する。撮影されたパターンとレチクルの原画パターンとを画像処理部22で比較する。
請求項（抜粋）：
ウエハに転写されるパターンが形成されたレチクルの前記パターンを前記ウエハに転写されたサイズで平面上に縮小投影し、該縮小投影されたパターンを撮影し、該撮影されたパターンと前記レチクルの原画パターンとを比較することによりレチクルの欠陥を検出することを特徴とするレチクル検査方法。
IPC (2件)：
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