特許
J-GLOBAL ID：200903078025548951
表面伝導型電子放出素子、それを用いた電子源、画像形成装置及びこれらの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-335151
公開番号（公開出願番号）：特開平8-180801
出願日： 1994年12月21日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】 電子放出特性の安定した表面伝導型電子放出素子、これを用いた電子源、高品位な画像形成装置を得る。【構成】 表面伝導型電子放出素子の表面を帯電防止膜6で被覆する。
請求項（抜粋）：
基板上に素子電極を形成すると共に、素子電極間を連絡する電子放出部形成用の薄膜を形成する工程と、帯電防止膜を形成する工程と、電子放出部形成用の薄膜に電子放出部を形成するフォーミング工程とを有することを特徴とする表面伝導型電子放出素子の製造方法。
IPC (4件)：
H01J 9/02
, H01J 1/30
, H01J 31/12
, H01J 31/15
