特許

J-GLOBAL ID：200903078027904828

真空機器用転がり軸受

発明者： 伊藤 裕之
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-325953
公開番号（公開出願番号）：特開2002-130300
出願日： 2000年10月25日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】 耐久性に優れた真空機器用転がり軸受を提供する。【解決手段】 外輪1と、内輪2と、外輪・内輪間に間挿された複数の転動体3と、転動体を円周方向に等分に分割保持する保持器4とからなる転がり軸受において、転動体3がセラミックスからなり、転動体3の表面、外輪1の軌道面及び内輪2の軌道面のうち少なくとも転動体3の表面が固体潤滑剤からなる薄膜でコーティングされ、かつ保持器4が全芳香族ポリイミドをマトリックスとし、フッ素樹脂、二硫化モリブデン、グラファイトから選ばれる1種以上の固体潤滑剤を5〜40重量%含有する複合材料からなる。

請求項（抜粋）：

外輪と、内輪と、該外輪・内輪間に間挿された複数の転動体と、該転動体を円周方向に等分に分割保持する保持器とからなる転がり軸受において、前記転動体がセラミックスからなり、該転動体の表面、前記外輪・内輪の各軌道面のうち少なくとも転動体の表面が固体潤滑剤からなる薄膜でコーティングされ、かつ前記保持器が全芳香族ポリイミドをマトリックスとし、フッ素樹脂、二硫化モリブデン及びグラファイトから選ばれる1種以上の固体潤滑剤を5〜40重量%含有する複合材料からなることを特徴とする真空機器用転がり軸受。

IPC (4件)：

F16C 33/66 ,  F16C 33/32 ,  F16C 33/44 ,  F16C 33/62

FI (4件)：

F16C 33/66 A ,  F16C 33/32 ,  F16C 33/44 ,  F16C 33/62

Fターム (25件)：

3J101AA02 ,  3J101AA32 ,  3J101AA42 ,  3J101AA54 ,  3J101AA62 ,  3J101BA10 ,  3J101BA50 ,  3J101BA53 ,  3J101BA54 ,  3J101BA55 ,  3J101BA70 ,  3J101EA23 ,  3J101EA25 ,  3J101EA34 ,  3J101EA41 ,  3J101EA42 ,  3J101EA44 ,  3J101EA53 ,  3J101EA54 ,  3J101EA55 ,  3J101EA78 ,  3J101FA31 ,  3J101FA32 ,  3J101GA55 ,  3J101GA57